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  AK Tech Vacuum Valve, Sub Assembly and vacuum sealing solution for Semiconductor fab  
 
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Equipment Name 3차원 측정기
Maker Mitutoyo
Model CRYSTA-Apex  S 7106
Specification 700mm(X축) / 1000mm(Y축) / 600mm(Z축)
Accuracy 0.0001mm(0.1㎛)
Equipment Name 표면조도측정기
Maker Mitutoyo
Model SJ-410
Specification 진직도:0.5㎛ / 구동거리:50mm
Accuracy 0.01㎛
Equipment Name 투영기
Maker Mitutoyo
Model PH-3515F
Specification 600mm
Accuracy 0.001mm
Equipment Name 리니어하이트
Maker Mitutoyo
Model LH-600CG
Specification 600mm
Accuracy 0.001mm
Equipment Name He Leak Detector
Maker Adixen
Model ASM142D
Specification 1.0 x 10-11 mbar l/s
Accuracy 0.1 x 10-1 mbar l/s
     
 
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